SEMISTAR-GEKKO VD31HDA-Cとは
SEMISTAR-GEKKO VD31HDA-C は、安川電機の真空環境用ウェーハ搬送ロボットです。半導体製造装置の真空搬送室でウェーハを高速に受け渡します。
4 自由度のロボットで、真空用ダイレクトドライブモーターとスチールベルトを採用し、低コンタミネーションかつ高速なウェーハ搬送を実現しています。デュアルアームで、ウェーハの入れ替え（スワップ）にかかる時間を短縮します。
300mm までのウェーハに対応し、位置繰り返し精度は 0.05mm（P-P）、本体重量は 109kg です。コントローラー SR200 と組み合わせて使います。
主な特長
- •真空 DD モーター＋スチールベルトで低コンタミ・高速
- •デュアルアームでスワップ時間を短縮
- •4 自由度、位置繰り返し精度 0.05mm
- •300mm ウェーハ対応
主な仕様
| 使用環境 | 真空（高真空対応） |
|---|---|
| アーム構成 | 4 軸水平多関節・双腕 |
| 駆動 | 真空 DD モーター＋スチールベルト |
| 関連機種 | SEMISTAR-GEKKO MD124D（大気用） |
| 主要用途 | 成膜・エッチング装置のウェーハ搬送 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | ローツェ（RORZE）RR493 シリーズ（真空用スカラアーム） | 安川電機SEMISTAR-GEKKO VD31HDA-C |
|---|---|---|
| 使用環境 | 真空 | 真空（高真空対応） |
| アーム構成 | スカラアーム（シングル） | 4 軸水平多関節・双腕 |
| 駆動 | 真空ダイレクトドライブモーター（DDM） | 真空 DD モーター＋スチールベルト |
| 関連機種 | RR481（ブーメラン・ダブル）／RR492（フロッグレッグ） | SEMISTAR-GEKKO MD124D（大気用） |
| 主要用途 | ～300 mm ウェーハの真空搬送 | 成膜・エッチング装置のウェーハ搬送 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •真空搬送室でのウェーハ搬送
掲載カテゴリ
SEMISTAR-GEKKO VD31HDA-Cは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
安川電機
サーボモータ・インバータ・産業用ロボットの大手メーカー。半導体分野では大気搬送・真空搬送に対応したクリーンロボットを供給し、装置内および装置間のウェハ搬送を担う。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06