EQBrain 是橫河電機（Yokogawa）針對半導體設備的通訊解決方案。讓設備與主機系統（MES）能以業界標準的 SECS／HSMS／GEM／GEM300 協定交換資料，即時連接設備與 MES。
SECS 是序列式的設備通訊標準，HSMS 是取代 RS232C 序列連接、以 TCP/IP 為基礎的高速訊息，GEM 是針對 200mm 產線的上層協定，GEM300 是針對 300mm 生產環境的上層協定。透過設定工具，無需大量程式設計即可定義參數。
擁有 30 年的實績，已用於 150 家以上公司、600 種以上機型的設備。支援薄膜沉積・蝕刻・微影等前段製程、接合與組裝等後段製程，以及 FPD 與電子零組件的製造設備。產品有 200mm 以下用的 EQBrain V4、300mm 用的 EQBrain 300、基本功能的 EQBrain-Lite、通訊測試模擬器 BrainARTEST300，以及針對既有設備的 SECS-HSMS 閘道器。