CIMVision-semi 是橫河電機(Yokogawa)針對半導體工廠的 MES(製造執行系統)套件。負責先進 300mm 晶圓生產環境中的製造管理與製程管理。
可彈性對應從人工製程追蹤到全自動生產線,也積極參與 SEMI 的標準化活動。可在 UNIX、Linux、Windows 任一環境運作,並公開資料庫設計,因此容易與既有系統連動。
除 300mm・200mm 量產線外,也涵蓋 ASIC 產線與研究用試產線,對象從少量多樣到大量生產,已有 14 家公司 20 座工廠的導入實績。整合製程管理、SPC、配方管理、設備連線、微影線上製程監控等子系統,有助於降低成本、提升設備效率與品質、可追溯性與縮短製造週期。