最後更新:2026年10月23日製造執行系統(MES)

CIMVision-semi的特點與規格

橫河電機(Yokogawa)・製造執行系統(MES)

實現半導體工廠製造管理與製程管理的橫河電機(Yokogawa)MES 套件。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

CIMVision-semi 是橫河電機(Yokogawa)針對半導體工廠的 MES(製造執行系統)套件。負責先進 300mm 晶圓生產環境中的製造管理與製程管理。

可彈性對應從人工製程追蹤到全自動生產線,也積極參與 SEMI 的標準化活動。可在 UNIX、Linux、Windows 任一環境運作,並公開資料庫設計,因此容易與既有系統連動。

除 300mm・200mm 量產線外,也涵蓋 ASIC 產線與研究用試產線,對象從少量多樣到大量生產,已有 14 家公司 20 座工廠的導入實績。整合製程管理、SPC、配方管理、設備連線、微影線上製程監控等子系統,有助於降低成本、提升設備效率與品質、可追溯性與縮短製造週期。

主要規格

提供形式MES 套件
適用工廠半導體製造工廠
特點可與設備連線化(CELLBrain)搭配
主要用途製造管理・製程管理

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

對應從人工到全自動產線
可在 UNIX・Linux・Windows 運作,公開資料庫設計
製程管理・SPC・配方管理・設備連線
14 家公司 20 座工廠的導入實績

主要用途

  • 300mm/200mm 晶圓廠的製造執行管理
  • ASIC 產線・研究試產線

製造商

橫河電機(Yokogawa)(總部:日本)

所屬設備分類

相關用語

同分類的其他機型

橫河電機(Yokogawa)的其他機型

資料來源

  1. 橫河電機(Yokogawa)官方產品頁面:CIMVision-semi