EQBrainとは
EQBrain は、横河電機の半導体装置向け通信ソリューションです。装置とホストシステム（MES）が、業界標準の SECS／HSMS／GEM／GEM300 プロトコルでデータをやり取りできるようにし、装置と MES をリアルタイムにつなぎます。
SECS はシリアルの装置通信規格、HSMS は RS232C のシリアル接続を置き換える TCP/IP ベースの高速メッセージ、GEM は 200mm ライン向けの上位プロトコル、GEM300 は 300mm 生産環境向けの上位プロトコルです。設定ツールで、大がかりなプログラミングなしにパラメータを定義できます。
30 年の実績を持ち、150 社以上・600 機種以上の装置で使われています。成膜・エッチング・リソグラフィなどの前工程、ボンディングや組立などの後工程、FPD や電子部品の製造装置に対応します。製品には 200mm 以下向けの EQBrain V4、300mm 向けの EQBrain 300、基本機能の EQBrain-Lite、通信試験シミュレーターの BrainARTEST300、既存装置向けの SECS-HSMS ゲートウェイがあります。
主な特長
- •SECS／HSMS／GEM／GEM300 に対応
- •設定ツールでプログラミングを最小化
- •30 年・150 社以上・600 機種以上の実績
- •EQBrain V4／300／Lite、試験シミュレーター
主な仕様
| 対応規格 | SECS／HSMS／GEM／GEM300 |
|---|---|
| 提供形態 | 装置組込み用ソフトウェアパッケージ |
| 主要用途 | 製造装置のオンライン化 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | 横河電機EQBrain | 東芝QuickOnline |
|---|---|---|
| 対応規格 | SECS／HSMS／GEM／GEM300 | SECS／HSMS／GEM |
| 提供形態 | 装置組込み用ソフトウェアパッケージ | 通信ソフトウェア |
| 主要用途 | 製造装置のオンライン化 | 製造装置のオンライン化 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •半導体製造装置のホスト（MES）接続
- •既存装置の SECS／HSMS 変換
掲載カテゴリ
EQBrainは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
産業用計測・制御システムの国内大手メーカー。半導体ファブ向けにはプローバー関連装置やプロセス計測機器を含む幅広い計測・制御ソリューションを展開する。