設備通訊介面(SECS/GEM)是什麼
設備通訊介面(SECS/GEM)是製造設備與主機電腦進行溝通的通訊標準,以及實作該標準的軟體・硬體。SEMI 制定的 SECS-II/HSMS 標準化了訊息的語法,GEM 則標準化了設備的行為;只要符合這些標準,即使是不同廠商的設備,也能以相同步驟進行配方下發、狀態監控與資料收集。晶圓廠的自動化正是建立在這套共通語言之上,它也是大幅左右設備導入時連線作業(整合)工時的部分。
重點整理
將設備與主機間通訊標準化的 SEMI 標準及其實作
SECS-II/HSMS 規定語法,GEM 規定設備的行為
能以相同步驟控制・監控不同廠商的設備
大幅左右設備導入時的整合工時
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