安立計器工業
接触式の表面温度計と熱電対を専門とする温度計測メーカー。装置チャンバ内の実温度を測るための熱電対付きウェハ（計装ウェハ）や、放射温度計・温度校正機を供給する。
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当サイトでの位置づけ
熱処理や成膜のレシピは装置の設定温度ではなくウェハ表面の実温度で決まります。Semirai の装置部品カテゴリでは、その実温度を持ち出すための計装ウェハの供給元として位置づけられます。
企業の強み
接触式表面温度計の専業メーカーとして半世紀以上
熱電対の製作から温度校正までを自社で完結
蛍光式光ファイバー温度計など非接触計測にも対応
主要製品・ソリューション
温度センサ
- •熱電対
- •表面温度センサ
- •光ファイバー温度計
計測器
- •接触式表面温度計
- •放射温度計
- •温度校正装置
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、安立計器工業を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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