センサウェハ（T/C付ウェハ）メーカー4社
センサウェハ（T/C付ウェハ）は、熱電対や各種センサを埋め込んだ計測専用のウェハで、装置の状態を実際のウェハ位置で測るための治具です。チャンバ内のどこに何度の分布ができているか、静電チャックが本当に均一に冷やせているかは、外側の測温では分かりません。実ウェハと同じ形状のセンサウェハを流すことで、温度・圧力・振動・パーティクルの実分布を取得できます。装置の立ち上げ、定期点検、複数装置間の差の追い込みに使われ、機差管理の標準的な手段になっています。
主要特徴
メーカー
4社の主要メーカー
接触式の表面温度計と熱電対を専門とする温度計測メーカー。装置チャンバ内の実温度を測るための熱電対付きウェハ（計装ウェハ）や、放射温度計・温度校正機を供給する。
- •接触式表面温度計の専業メーカーとして半世紀以上
- •熱電対の製作から温度校正までを自社で完結
半導体・電子機器・真空機器を扱う技術系の専門商社。海外メーカーの計装ウェハや真空部品を国内に導入し、装置メーカーとファブの双方に供給する。
- •半導体・真空・表面処理にまたがる技術商社
- •海外装置部品メーカーの国内代理店機能
火災検知器と温度センサ、流体制御機器を手掛けるメーカー。半導体製造装置向けには装置内の温度モニタリングや異常検知のためのセンサ・制御ユニットを供給する。
- •火災検知で培った高感度センシング技術
- •温度センサと流体制御を組み合わせた提案
工業用・産業用電気ヒーターの専業メーカー。カートリッジヒーターやシーズヒーター、面状ヒーターに加え、温度制御機器と熱電対を組み合わせた加熱ユニットを供給する。
- •電熱専業として長い歴史を持つ
- •ヒータ・温調・熱電対を一社で揃えられる
関連カテゴリ
ボンディングツール（キャピラリ）は、ワイヤボンダの先端でワイヤを保持し、超音波と荷重を接合面へ伝える消耗部品です。
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メーカー 7 社装置制御ソフトウェア・受託開発装置制御ソフトウェアは、半導体製造装置のチャンバー・搬送ロボット・ガス系・電源などを指示どおりに動かし、プロセスレシピを実行するソフトウェア層です。
メーカー 6 社ダイシングブレード・マウンタ部品ダイシングブレード・マウンタ部品は、ウェハをチップへ切り分ける工程で使う消耗部材です。
メーカー 5 社静電チャック・ホットプレート静電チャック（ESC）は、静電気力でウェハを保持するセラミック製のステージ部品です。
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メーカー 8 社ガス供給・流量制御ガス供給・流量制御系は、プロセスガスや特殊材料ガスを決められた流量・圧力でチャンバへ届けるサブシステムです。
メーカー 8 社ヒータユニット・温度モニタヒータユニット・温度モニタは、チャンバやサセプタを加熱し、その温度を測定・制御する部品群です。
メーカー 8 社駆動・光学ユニット駆動・光学ユニットは、ウェハを動かし、光を当て、状態を検出するという装置の身体機能を担うサブシステムです。
メーカー 8 社研磨用パッド・キャリア部品研磨用パッド・キャリア部品は、CMPやウェハ研磨で実際に加工面と接する消耗部材です。
メーカー 9 社RF電源・電源システムRF電源・電源システムは、プラズマを用いるエッチング・CVD（PECVD）・PVD（スパッタ）装置に高周波/直流電力を供給するサブシステムです。
メーカー 4 社プロセスモニター（EPD/OES）プロセスモニターは、処理中のチャンバ内部の状態を実時間で観測するユニットです。
メーカー 10 社石英・セラミック部品石英・セラミック部品は、高温・プラズマ・腐食性ガスにさらされる製造装置のチャンバー内部で使われる部材です。
メーカー 7 社表面処理・溶射コーティング表面処理・溶射コーティングは、チャンバ内壁や治具の表面に耐プラズマ性の膜を作り、部品寿命とパーティクル特性を改善する加工サービスです。
メーカー 7 社テスト用治具・コンタクト部品テスト用治具・コンタクト部品は、テスタとデバイスの間に入って電気的な接触を作る部品群です。
メーカー 8 社真空ポンプ真空ポンプは、成膜（CVD/PVD/ALD）・エッチング・イオン注入など、真空環境を必要とする製造装置のチャンバー内を排気する基幹サブシステムです。
メーカー 8 社真空排気システム真空排気システムは、プロセスチャンバの圧力を目的の領域まで下げ、その状態を反応中も維持し続けるためのサブシステムです。
メーカー 7 社ウェハキャリア・FOUP・EFEMウェハキャリア・FOUP・EFEMは、ウェハを清浄な環境で保管・搬送し、装置内へ受け渡すインターフェース部材/サブシステムです。
メーカー 9 社