熱電対付きシリコンウェーハ AW シリーズとは
AW シリーズは、安立計器の熱電対付きシリコンウェーハです。シリコンウェーハに熱電対を取り付けたセンサーで、半導体製造装置の中でウェーハ面内の温度分布を実際に測ることができます。
メーカーは、半導体製造装置の開発やプロセス条件の設定に欠かせないツールと位置づけています。ウェーハのサイズ、熱電対のセンサー点数、熱電対の絶縁被覆の種類を自由に組み合わせて仕様を決められ、特注品の製作にも対応します。
代表的な型式の AW-0505K-A-TS1-ANP は、使用温度範囲が 0〜500°C で、許容差は温度帯により ±2.5°C〜±8.0°C です。オンラインのツールで仕様を組み合わせて型式を決められます。
主な特長
- •熱電対付きシリコンウェーハ
- •ウェーハサイズ・センサー点数・被覆を自由に組み合わせ
- •代表型式は 0〜500°C
- •特注品にも対応
主な仕様
| 測定項目 | 温度（K 熱電対） |
|---|---|
| 使用温度 | 0 ～ 500 ℃ |
| 主要用途 | レジスト装置ステージなどの温度分布測定 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | 安立計器工業熱電対付きシリコンウェーハ AW シリーズ | 坂口電熱熱電対（T/C）付ウェハー |
|---|---|---|
| 測定項目 | 温度（K 熱電対） | 温度（熱電対） |
| 主要用途 | レジスト装置ステージなどの温度分布測定 | 製造装置の温度分布測定 |
1機種だけが掲載している項目（1件）
| 使用温度 | 0 ～ 500 ℃ | — |
|---|
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •製造装置内のウェーハ温度分布の測定
- •装置開発・プロセス条件の設定
掲載カテゴリ
熱電対付きシリコンウェーハ AW シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
安立計器工業
接触式の表面温度計と熱電対を専門とする温度計測メーカー。装置チャンバ内の実温度を測るための熱電対付きウェハ（計装ウェハ）や、放射温度計・温度校正機を供給する。
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06