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カンケンテクノ

半導体・FPD製造の排ガス処理装置メーカー。シラン・フッ素系ガス・PFCなどのプロセス排ガスを燃焼・プラズマ・湿式で無害化する除害装置（スクラバー）を供給する。

🌐 日本装置メーカー公式サイト

当サイトでの位置づけ

Semirai の排ガス処理カテゴリでは、半導体プロセス排ガスの除害装置（スクラバー）専業メーカーとして位置づけられます。

企業の強み

除害装置（スクラバー）の専業メーカー

燃焼式・プラズマ式・湿式の方式を網羅

PFC等の温室効果ガス分解に対応

排ガス処理装置

📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、カンケンテクノを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

真空・ガス／薬液供給サブシステムのトピックで関連する用語です。

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