カンケンテクノ
半導体・FPD製造の排ガス処理装置メーカー。シラン・フッ素系ガス・PFCなどのプロセス排ガスを燃焼・プラズマ・湿式で無害化する除害装置（スクラバー）を供給する。
日本・装置メーカー・公式サイト ↗
当サイトでの位置づけ
Semirai の排ガス処理カテゴリでは、半導体プロセス排ガスの除害装置（スクラバー）専業メーカーとして位置づけられます。
企業の強み
除害装置（スクラバー）の専業メーカー
燃焼式・プラズマ式・湿式の方式を網羅
PFC等の温室効果ガス分解に対応
主要製品・ソリューション
排ガス処理装置
- •除害装置（スクラバー）
- •PFC分解装置
カンケンテクノの製品
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、カンケンテクノを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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