樫山工業

ドライ真空ポンプの専業メーカー。半導体・FPD製造装置向けに、堆積性・腐食性ガスに対応した多段ルーツ式ドライポンプと排ガス処理連携システムを供給する。

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当サイトでの位置づけ

Semirai の真空ポンプカテゴリでは、半導体プロセス向けドライ真空ポンプの国内専業メーカーとして位置づけられます。

企業の強み

ドライ真空ポンプの専業メーカー

堆積性・腐食性プロセスガスへの対応

省エネ運転・アップタイム重視の設計

主要製品・ソリューション

真空ポンプ

•ドライ真空ポンプ
•ルーツブロワ

樫山工業の製品

NeoDry G シリーズ（真空ポンプ）

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、樫山工業を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

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比較・違いを学ぶ

ドライ真空ポンプとターボ分子ポンプの違い

半導体製造装置の排気系は、大気圧から超高真空まで10桁以上の圧力範囲をカバーしなければなりません。単一のポンプでこれを賄うことはできないため、粗引きを担うドライ…

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