Edwards Vacuum（Atlas Copco傘下）

半導体ファブ向け真空ポンプ・排気処理（アベートメント）システムの世界大手。ドライポンプ・ブースターポンプ・PFASフリー排ガス処理まで一貫提供し、ファブのインフラを支える。

英国・装置メーカー・公式サイト ↗

当サイトでの位置づけ

Semirai のファブインフラの視点では、ドライ真空ポンプと排ガス処理（アベートメント）の最大手として、装置の真空排気と環境規制対応の両面を担う立場にあります。

企業の強み

ドライ真空ポンプで世界最大手

排気処理（アベートメント）システムに強み

半導体ファブの環境規制対応を支援

主要製品・ソリューション

ドライ真空ポンプ

•iXH/iXL series
•GXS series

排気処理装置

•SIRIUSスクラバー
•FLARESシリーズ

ブースターポンプ

•EH/EPX series

Edwards Vacuum（Atlas Copco傘下）の製品

Atlas™ シリーズ（排ガス処理装置（アバトメント））iXH Mk2（真空ポンプ）

関連装置カテゴリ

真空ポンプ

真空ポンプは、成膜（CVD/PVD/ALD）・エッチング・イオン注入など、真空環境を必要とする製造装置のチャンバー内を排気する基幹サブシステムです。

メーカー 8 社装置部品・サブシステム

装置部品・サブシステムは、露光・エッチング・成膜・洗浄などの半導体製造装置を内部で構成する真空ポンプ・RF電源・ガス供給/流量制御（MFC）・石英/セラミック部品・ウェハキャリア（FOUP）・各種消耗部品などの総称です。

メーカー 15 社ファブインフラ（排ガス処理）

ファブインフラ設備は、半導体製造装置本体の外側で、工場（ファブ）全体の稼働を支える基盤設備群を指します。

メーカー 10 社

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Edwards Vacuum（Atlas Copco傘下）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

ファブインフラ設備とは→クリーンルームとは→ドライエッチングとは→CVD（化学気相成長）とは→ドライ真空ポンプとは→除害装置（スクラバー）とは→クライオポンプとは→

同じトピックの用語

真空・ガス／薬液供給サブシステムのトピックで関連する用語です。

ターボ分子ポンプ（TMP）とは→真空計とは→ゲートバルブ／スリットバルブとは→ロードロック室とは→マスフローコントローラ（MFC）とは→ガスボックス（ガスパネル）とは→ダイヤフラムバルブとは→ガス精製器・ガスフィルタとは→

同じトピックの企業

荏原製作所日本樫山工業日本 Pfeiffer Vacuumドイツ ULVAC（アルバック）日本 VAT Groupスイス MKS Instruments米国

比較・違いを学ぶ

ドライ真空ポンプとターボ分子ポンプの違い

半導体製造装置の排気系は、大気圧から超高真空まで10桁以上の圧力範囲をカバーしなければなりません。単一のポンプでこれを賄うことはできないため、粗引きを担うドライ…

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