COMPANY DATABASE
Edwards Vacuum（Atlas Copco傘下）
半導体ファブ向け真空ポンプ・排気処理（アベートメント）システムの世界大手。ドライポンプ・ブースターポンプ・PFASフリー排ガス処理まで一貫提供し、ファブのインフラを支える。
当サイトでの位置づけ
Semirai のファブインフラの視点では、ドライ真空ポンプと排ガス処理（アベートメント）の最大手として、装置の真空排気と環境規制対応の両面を担う立場にあります。
企業の強み
ドライ真空ポンプで世界最大手
排気処理（アベートメント）システムに強み
半導体ファブの環境規制対応を支援
主要製品・ソリューション
ドライ真空ポンプ
- •iXH/iXL series
- •GXS series
排気処理装置
- •SIRIUSスクラバー
- •FLARESシリーズ
ブースターポンプ
- •EH/EPX series
関連装置カテゴリ
📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Edwards Vacuum（Atlas Copco傘下）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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