Pfeiffer Vacuum

半導体製造装置向け真空ポンプ・計測機器の世界的リーダー。ターボ分子ポンプ・スクロールポンプ・ドライポンプなど幅広い製品ラインでALD・CVD・PVD・エッチング装置の真空環境を支える。

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当サイトでの位置づけ

Semirai の周辺・インフラ装置の視点では、真空プロセスを支えるターボ分子ポンプの世界的サプライヤーとして、エッチング・成膜・イオン注入など各工程の真空環境を下支えする立場にあります。

企業の強み

ターボ分子ポンプで世界最大手クラス

クリーンドライポンプによる汚染防止

半導体・研究・工業分野の幅広い顧客基盤

主要製品・ソリューション

ターボ分子ポンプ

•HiPace series

ドライ真空ポンプ

•ACP series
•MVP series

真空計・リークディテクター

•PKR/PPR series

Pfeiffer Vacuumの製品

HiPace® ターボ分子ポンプ（真空ポンプ）ATH シリーズ（ATH 500 M ～ ATH 3200 M）（真空ポンプ）ASM 340 シリーズ（リークディテクタ）

関連装置カテゴリ

真空ポンプ

真空ポンプは、成膜（CVD/PVD/ALD）・エッチング・イオン注入など、真空環境を必要とする製造装置のチャンバー内を排気する基幹サブシステムです。

メーカー 8 社装置部品・サブシステム

装置部品・サブシステムは、露光・エッチング・成膜・洗浄などの半導体製造装置を内部で構成する真空ポンプ・RF電源・ガス供給/流量制御（MFC）・石英/セラミック部品・ウェハキャリア（FOUP）・各種消耗部品などの総称です。

メーカー 15 社

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Pfeiffer Vacuumを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

ドライエッチングとは→CVD（化学気相成長）とは→PVDとは→ALDとは→ファブインフラ設備とは→ターボ分子ポンプ（TMP）とは→ドライ真空ポンプとは→真空計とは→

同じトピックの用語

真空・ガス／薬液供給サブシステムのトピックで関連する用語です。

クライオポンプとは→ゲートバルブ／スリットバルブとは→ロードロック室とは→マスフローコントローラ（MFC）とは→ガスボックス（ガスパネル）とは→ダイヤフラムバルブとは→ガス精製器・ガスフィルタとは→薬液供給システム（CDS）とは→

同じトピックの企業

Edwards Vacuum（Atlas Copco傘下）英国荏原製作所日本樫山工業日本 ULVAC（アルバック）日本 VAT Groupスイス MKS Instruments米国

比較・違いを学ぶ

ドライ真空ポンプとターボ分子ポンプの違い

半導体製造装置の排気系は、大気圧から超高真空まで10桁以上の圧力範囲をカバーしなければなりません。単一のポンプでこれを賄うことはできないため、粗引きを担うドライ…

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