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Pfeiffer Vacuum

半導体製造装置向け真空ポンプ・計測機器の世界的リーダー。ターボ分子ポンプ・スクロールポンプ・ドライポンプなど幅広い製品ラインでALD・CVD・PVD・エッチング装置の真空環境を支える。

🌐 ドイツ装置メーカー公式サイト

当サイトでの位置づけ

Semirai の周辺・インフラ装置の視点では、真空プロセスを支えるターボ分子ポンプの世界的サプライヤーとして、エッチング・成膜・イオン注入など各工程の真空環境を下支えする立場にあります。

企業の強み

ターボ分子ポンプで世界最大手クラス
クリーンドライポンプによる汚染防止
半導体・研究・工業分野の幅広い顧客基盤

主要製品・ソリューション

ターボ分子ポンプ

  • HiPace series

ドライ真空ポンプ

  • ACP series
  • MVP series

真空計・リークディテクター

  • PKR/PPR series

関連装置カテゴリ

真空ポンプ
装置部品・サブシステム

📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Pfeiffer Vacuumを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

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比較・違いを学ぶ

ドライ真空ポンプとターボ分子ポンプの違い
半導体製造装置の排気系は、大気圧から超高真空まで10桁以上の圧力範囲をカバーしなければなりません。単一のポンプでこれを賄うことはできないため、粗引きを担うドライ
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