COMPANY DATABASE
ULVAC（アルバック）
真空技術を核に、スパッタ・CVD・蒸着・エッチング・測定装置を手がける日本の総合真空機器メーカー。半導体に加えFPD・太陽電池にも展開。
当サイトでの位置づけ
Semiraiの真空・成膜カテゴリでは、スパッタ・CVD・蒸着・エッチング装置をファブレスから量産まで幅広く提供する国産真空技術の総合メーカーとして参照されます。
企業の強み
真空ポンプからプロセス装置まで一貫した垂直統合
スパッタリング装置で国内トップクラス
FPD・太陽電池向け大面積成膜技術
主要製品・ソリューション
PVD装置
- •スパッタリングシステム
- •蒸着装置
CVD装置
- •プラズマCVD
- •熱CVD
真空ポンプ
- •ターボ分子ポンプ
- •ドライポンプ
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