VAT Group
真空バルブの世界最大手。半導体製造装置のロードロックとプロセスチャンバーを仕切るゲートバルブ／スリットバルブ、圧力制御バルブで圧倒的なシェアを持つスイス企業。
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当サイトでの位置づけ
Semirai の真空部品カテゴリでは、真空チャンバー間を仕切るゲートバルブで世界標準を握るスイスのメーカーとして位置づけられます。
企業の強み
真空ゲートバルブで世界トップシェア
高速・高寿命なバルブ駆動機構
圧力制御バルブとの組合せ提案
主要製品・ソリューション
真空バルブ
- •ゲートバルブ
- •スリットバルブ
- •圧力制御バルブ
VAT Groupの製品
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、VAT Groupを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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