リソテックジャパン
リソグラフィ工程の装置とレジスト評価技術を手がける。レジストの塗布・現像・ベークを行う自動機とマニュアル機、枚葉式／バッチ式のベーク装置を製造するほか、レジスト評価用の測定装置や受託評価も提供する。
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当サイトでの位置づけ
Semirai のリソグラフィ装置カテゴリでは、レジストの塗布・現像・ベークを研究開発規模で扱う装置と評価技術を持つ、リソグラフィ周辺の専門メーカーとして参照されます。
企業の強み
塗布・現像・ベークを揃えた研究開発向け装置
枚葉式とバッチ式のベーク装置
レジスト評価の技術と受託サービス
主要製品・ソリューション
リソグラフィ装置
- •自動塗布現像装置
- •マニュアル塗布現像装置
- •ベーク装置（枚葉式／バッチ式）
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、リソテックジャパンを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
FOR COMPANIES
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