Mattson Technology
急速熱処理（RTP）・ドライストリップ（プラズマアッシャー）の専業装置メーカー。先端ロジック・メモリのゲート形成・レジスト除去工程を支える。
米国・装置メーカー・公式サイト ↗
当サイトでの位置づけ
Semiraiの熱処理・ドライストリップカテゴリでは、RTP（急速熱処理）とプラズマアッシャーを組み合わせた前工程サポート装置として参照されます。
企業の強み
急速熱処理（RTP）装置での業界実績
プラズマアッシャー（ドライストリップ）技術
中国・アジア市場向けの迅速サポート体制
主要製品・ソリューション
熱処理装置
- •RTPシステム
- •バッチ熱処理装置
ドライストリップ装置
- •プラズマアッシャー
Mattson Technologyの製品
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Mattson Technologyを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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