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住友重機械イオンテクノロジー

住友重機械工業グループのイオン注入装置専業メーカー。半導体前工程のドーパント注入から、太陽電池・パワー半導体向けの表面改質装置まで幅広く展開する。

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当サイトでの位置づけ

Semirai のイオン注入装置カテゴリでは、住友重機械グループのイオン注入専業メーカーとして、ドーパント制御工程を支える立場にあります。

企業の強み

イオン注入装置の専業メーカー
パワー半導体向け高エネルギー注入に対応
住友重機械グループの技術基盤を活用

主要製品・ソリューション

イオン注入装置

  • イオン注入装置
  • 表面改質装置

📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、住友重機械イオンテクノロジーを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

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アニール(熱処理)とは →急速熱処理(RTP)とは →拡散炉とは →熱処理(半導体製造)とは →熱バジェットとは →ドーパント活性化とは →レーザアニールとは →チャネリング(イオン注入)とは →

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