当サイトでの位置づけ
Semiraiのバッチ式CVD・熱処理カテゴリでは、縦型拡散炉・バッチALD装置を通じてメモリ・ロジックの酸化膜・窒化膜形成プロセスの主役として参照されます。
企業の強み
バッチ式縦型CVDで世界最高水準のスループット
バッチALD装置による高アスペクト比への均一成膜
DRAM・NAND向け酸化膜・窒化膜プロセスに深い実績
主要製品・ソリューション
バッチ式CVD装置
- •VERTEX
- •TRIORA
熱処理装置
- •縦型拡散炉
- •酸化炉
関連装置カテゴリ
関連用語
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