シンフォニアテクノロジー

クリーン搬送機器のメーカー。FOUPを装置に接続するロードポートと、その内部でウェハを搬送するEFEM(装置フロントエンドモジュール)で世界的なシェアを持つ。

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当サイトでの位置づけ

Semirai のウェハ搬送カテゴリでは、ロードポート・EFEMなど装置フロントエンドの標準サプライヤーとして位置づけられます。

企業の強み

ロードポートで世界トップクラスのシェア
EFEM・搬送ロボットの一体設計
ミニエンバイロメントの清浄度管理技術

主要製品・ソリューション

クリーン搬送機器

  • •ロードポート
  • •EFEM
  • •ウェハ搬送ロボット
半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、シンフォニアテクノロジーを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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