ロードポートは、FOUP／FOSBを製造装置に接続し、内部のウェハを装置側へ受け渡すインターフェース装置です。OHT（天井搬送車）が運んできたFOUPを受け取り、位置決めし、ドアを開けてEFEM内の清浄雰囲気とFOUP内部を連通させるところまでを担当します。装置と工場自動化システムが物理的に接する境界点です。
動作はSEMI規格のFIMS（Front-opening Interface Mechanical Standard）に準拠します。FOUPが所定位置にクランプされると、ロードポートのドアオープナーがFOUPのドアラッチを解除し、ドアごと下方へ引き込みます。これにより、FOUPの内部は装置側のミニエンバイロメントとだけ接続され、外気に触れることなくウェハが取り出せます。
清浄度管理の要はN₂パージです。FOUP内に残る水分・酸素はウェハ表面の自然酸化やレジストの変質を招くため、ロードポートのボトムパージノズルからN₂を吹き込み、FOUP内雰囲気を置換します。EUVレジストやCu配線工程では待機時間中の環境が歩留まりに影響するため、パージ機能付きロードポートが標準装備になりつつあります。
ロードポートにはウェハマッピング機能も組み込まれます。光学センサでスロットごとのウェハ有無・二枚差し・斜め差しを検出し、搬送前に異常を検知することでウェハ破損を防ぎます。装置とホストシステムはSECS/GEM通信でこの情報をやり取りし、ロット管理と紐づけられます。
主要メーカーはシンフォニアテクノロジー・TDK・ローツェ・Brooks（Azenta）などです。1台の装置に2〜4基が搭載されるため出荷数量が大きく、装置の生産性（ロード待ち時間）を左右する部品として設計上の重要度が高まっています。
