AMHS（Automated Material Handling System：自動搬送システム）は、半導体ファブ内でFOUP（フロントオープニングユニファイドポッド）に収納されたウェハを装置間で自動搬送するシステムです。OHT（天井走行型搬送車）・AGV（無人搬送車）・ストッカー（保管装置）から構成されます。
ファブの生産性・稼働率の向上に直結する重要設備であり、ダイフク・村田機械・ローツェが世界市場をリードしています。先端ファブでは搬送の高速化・搬送中の振動管理・自動スケジューリングが技術課題です。
AMHSは、ウェハを収めたFOUP（搬送容器）を、天井に張り巡らせた軌道を走るOHT（天井走行搬送車）やストッカー、コンベアで自動搬送します。人手を介さず24時間連続で工程間を結ぶことで、汚染リスクを抑えながら高い稼働率を実現します。
300mmファブでは1日に数万回の搬送が発生し、搬送のボトルネックがそのまま生産能力（スループット）の制約になります。MES（製造実行システム）と連携してリアルタイムに搬送を最適化することが重要です。ダイフク・村田機械・ローツェなどが主要メーカーです。
