GLOSSARY

FOSB(ウェハ出荷容器)とは

FOSB (Front Opening Shipping Box)
最終更新:2026-08-17ウェハキャリア・FOUP・EFEMAMHS(自動搬送システム)

FOSB(ウェハ出荷容器)とは?

FOSBとは、ウェハメーカーからデバイスメーカーへ300mmウェハを出荷・輸送するための密閉容器です。FOUPと同じ前面開口・25枚収納でロードポートに載せられますが、用途はファブ内搬送ではなく工場間輸送で、天面はOHT用フランジではなくハンドル形状になります。空容器はウェハメーカーへ返送され、洗浄・検査を経て再利用されます。

定義・解説

FOSB(Front Opening Shipping Box)は、ウェハメーカーからデバイスメーカーへ300mmウェハを出荷・輸送するための密閉容器です。FOUPと同じ前面開口・25枚収納の形状を持ち、ロードポートに直接載せられる互換性を備えていますが、用途はファブ内搬送ではなく「工場間の輸送」に特化しています。

FOUPとの違いは、ファブ内の自動搬送(AMHS)で使うか、外部輸送で使うかという用途の差にあります。FOUPは天面にOHT用のロボティックフランジを持ち、耐久性と繰り返し使用に耐える高価な仕様です。FOSBは出荷用のため、天面はハンドル形状で、輸送中の振動・衝撃からウェハを守る保持構造と、輸送コストに見合った価格設計が重視されます。

材質は帯電防止処理を施したポリカーボネートやPBT系樹脂で、アウトガスと発塵を抑えた成形が要求されます。ウェハ表面の自然酸化膜の成長やヘイズ(曇り)の発生を防ぐため、N₂パージ機能を備えた仕様や、真空パックと併用する出荷形態も採られます。ベアウェハだけでなく、エピウェハやSOIウェハなど高付加価値ウェハの輸送でも標準です。

受け入れ側のファブでは、FOSBをそのままロードポートに載せてウェハを装置へ供給するか、いったんFOUPへ移し替えて運用します。移し替え工程はパーティクル混入のリスクがあるため、専用のウェハトランスファー装置が使われます。空になったFOSBはウェハメーカーへ返送され、洗浄・検査を経て再利用されるのが一般的です。

主要メーカーはミライアル・信越ポリマー・Entegris・Gudeng Precision(台湾)などです。ウェハの出荷量に比例して需要が動くため、シリコンウェハ市況と連動性の高い部材でもあります。

よくある質問(FAQ)

FOSBとFOUPの違いは何ですか?
用途が異なります。FOUPはファブ内でOHTによる自動搬送に使うため天面にロボティックフランジを持ち、繰り返し使用に耐える高耐久仕様です。FOSBはウェハメーカーからの出荷・輸送用で、天面はハンドル形状、輸送時の振動・衝撃対策とコストが重視されます。
FOSBで届いたウェハはそのまま使えますか?
FOSBはFOUPと同じFIMS準拠のため、ロードポートに直接載せて使うことも、いったんFOUPへ移し替えて運用することもできます。移し替えはパーティクル混入のリスクがあるため、専用のウェハトランスファー装置が使われます。

設備の製造メーカー

ミライアル(MIRAIAL)日本

半導体ウェハ搬送容器の専業メーカー。300mmウェハ用FOUP・FOSBを精密樹脂成形技術で製造し、ウェハの清…

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信越ポリマー日本

信越化学グループの樹脂成形メーカー。半導体分野では300mmウェハ用FOUP・FOSB、レチクルポッド、各種搬…

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Entegris米国

半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア(FOUP)・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器…

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SUMCO日本

シリコンウェハ専業の世界第2位メーカー。三菱マテリアル・住友金属鉱山のウェハ事業を統合し、300mmウェハを中…

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