ローツェ(RORZE)
半導体ウェハ搬送ロボット・EFEM(装置フロントエンドモジュール)・ソーターの専業大手。装置メーカーへOEM供給し、クリーンな搬送自動化で高い世界シェアを持つ。
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当サイトでの位置づけ
Semirai では、ウェハ搬送ロボット・EFEM・ソーターを供給する搬送自動化のキー企業として、各種前工程・後工程装置と工場全体(AMHS)をつなぐ立場に位置づけられます。
企業の強み
ウェハ搬送ロボット・EFEMで高い世界シェア
真空・大気搬送からソーターまで一貫した搬送ソリューション
装置メーカー向けOEMで前後工程を横断
主要製品・ソリューション
搬送・自動化
- •ウェハ搬送ロボット
- •EFEM(装置フロントエンドモジュール)
- •ウェハソーター
ローツェ(RORZE)の製品
関連装置カテゴリ
ウェハキャリア・FOUP・EFEM
ウェハキャリア・FOUP・EFEMは、ウェハを清浄な環境で保管・搬送し、装置内へ受け渡すインターフェース部材/サブシステムです。
メーカー 9 社ウェハ搬送装置ウェハ搬送装置は、半導体製造ラインの各プロセス装置内・装置間でウェハを自動搬送するロボット・ハンドラー・コンベアシステムの総称です。
メーカー 10 社装置部品・サブシステム装置部品・サブシステムは、露光・エッチング・成膜・洗浄などの半導体製造装置を内部で構成する真空ポンプ・RF電源・ガス供給/流量制御(MFC)・石英/セラミック部品・ウェハキャリア(FOUP)・各種消耗部品などの総称です。
メーカー 15 社半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、ローツェ(RORZE)を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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