当サイトでの位置づけ
スパッタやイオン注入の到達真空度は、最後にクライオポンプがどれだけ気体を凍らせて捕まえられるかで決まります。Semirai の装置部品カテゴリでは、その極低温側を担う世界大手として位置づけられます。
企業の強み
GM冷凍機とクライオポンプで世界トップクラス
極低温から加速器まで幅広い技術基盤
国内外に保守ネットワークを持つ
主要製品・ソリューション
真空機器
- •クライオポンプ
- •極低温冷凍機（GM冷凍機）
産業機械
- •変減速機
- •射出成形機
- •レーザ加工装置
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、住友重機械工業を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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