クライオポンプメーカー7社
クライオポンプは、極低温に冷却した吸着面に気体分子を凍結・吸着させて排気する高真空ポンプです。気体を外へ押し出すのではなく内部に溜め込む捕集式であるため、可動部が排気経路になく、振動と油の逆流がありません。水蒸気やアルゴンに対する排気速度が非常に大きく、スパッタリング装置やイオン注入装置のように10⁻⁵Pa以下を必要とする装置で使われます。溜め込んだガスは飽和するため、定期的に昇温して放出する再生運転が必要で、その所要時間が装置稼働率に影響します。
主要特徴
メーカー
7社の主要メーカー
真空技術を核に、スパッタ・CVD・蒸着・エッチング・測定装置を手がける日本の総合真空機器メーカー。半導体に加えFPD・太陽電池にも展開。
- •真空ポンプからプロセス装置まで一貫した垂直統合
- •スパッタリング装置で国内トップクラス
半導体ファブ向け真空ポンプ・排気処理（アベートメント）システムの世界大手。ドライポンプ・ブースターポンプ・PFASフリー排ガス処理まで一貫提供し、ファブのインフラを支える。
- •ドライ真空ポンプで世界最大手
- •排気処理（アベートメント）システムに強み
半導体・電子機器・真空機器を扱う技術系の専門商社。海外メーカーの計装ウェハや真空部品を国内に導入し、装置メーカーとファブの双方に供給する。
- •半導体・真空・表面処理にまたがる技術商社
- •海外装置部品メーカーの国内代理店機能
産業機械の総合メーカー。極低温技術を応用したクライオポンプと冷凍機で世界大手であり、半導体製造装置の高真空排気系に広く採用されている。
- •GM冷凍機とクライオポンプで世界トップクラス
- •極低温から加速器まで幅広い技術基盤
クライオポンプの開発・製造・販売とメンテナンスを専門とするアルバックグループ会社。国内販売シェアで約4割を占める。
- •クライオポンプ国内販売シェア約40%
- •本体供給からオーバーホールまで一貫
170年以上の歴史を持つ真空技術メーカー。ドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、真空計、リークディテクタまで真空系を一通り揃える。Atlas Copcoグループ。
- •ドライ・ターボ・クライオの全方式を持つ
- •真空計とリークディテクタまで自社製
半導体製造向けの自動化ソリューションを供給する米国企業。ウェハ搬送ロボットとEFEM、ロードポートに加え、CTI-Cryogenicsブランドのクライオポンプを手掛ける。
- •ウェハ搬送ロボットとEFEMで世界大手
- •CTI-Cryogenicsのクライオポンプを擁する