サーパス工業

薬液用のフィッティングと流体機器の総合メーカー。半導体製造装置の薬液配管に使うクイックカプラや流量センサ、ポンプを供給する。

日本装置メーカー公式サイト ↗

当サイトでの位置づけ

薬液配管は継手ひとつの漏れとデッドボリュームで歩留まりを落とします。Semirai の装置部品カテゴリでは、その継手と流量計測を専門に扱うメーカーとして位置づけられます。

企業の強み

薬液用フィッティングの専業メーカー
フッ素樹脂の成形技術
継手からポンプ・センサまで一貫

主要製品・ソリューション

流体部品

  • 薬液用クイックカプラ
  • フッ素樹脂継手
  • バルブ

計測機器

  • 流量センサ
  • 液面センサ

関連装置カテゴリ

半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、サーパス工業を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

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