タツモ(Tazmo)

コーター・デベロッパ(塗布現像装置)やウェハ搬送装置を手掛ける国内装置メーカー。半導体・ディスプレイ両分野向けの精密搬送・塗布技術を展開する。

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当サイトでの位置づけ

Semirai の露光関連装置カテゴリでは、コーター・デベロッパを手掛ける国内メーカーとして位置づけられます。

企業の強み

コーター・デベロッパに強み
半導体・ディスプレイ両分野に対応
精密ウェハ搬送技術を保有

主要製品・ソリューション

露光関連装置

  • •コーター・デベロッパ
  • •ウェハ搬送装置

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