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サーモフィッシャーサイエンティフィック

分析機器・電子顕微鏡(旧FEI)を含む科学機器のグローバル大手メーカー。TEM/SEM・質量分析装置を半導体の故障解析・材料評価向けに幅広く供給する。

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当サイトでの位置づけ

Semirai の分析・検査装置カテゴリでは、電子顕微鏡・質量分析装置を手掛けるグローバル大手として、半導体の故障解析・材料分析を支える立場にあります。

企業の強み

電子顕微鏡(旧FEI)で世界トップクラス
半導体故障解析向け分析機器を総合展開
グローバルなサービス・サポート体制

主要製品・ソリューション

分析・検査装置

  • TEM/SEM電子顕微鏡
  • 質量分析装置

📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、サーモフィッシャーサイエンティフィックを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

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電子ビーム検査と光学検査の違い(欠陥検査方式の比較)
電子ビーム検査(E-beam Inspection)は電子ビームでウェハを走査し二次電子・反射電子像から欠陥を検出する方式で、数nm級の微小欠陥や配線のオープン
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