TPEG MEMSとは
TPEG MEMS は、イタリア Technoprobe の垂直型 MEMS プローブの技術です。非常に狭いピッチのウェーハテストに向けて開発されました。
高性能・高密度の SoC を対象に、狭いピッチと大きな電流が必要なウェーハテストに使われます。同社はカンチレバー型のプローブカードもそろえています。
主な特長
- •垂直 MEMS プローブ
- •超狭ピッチ対応
主な仕様
| プローブ方式 | 垂直 MEMS プローブ |
|---|---|
| 対象デバイス | 高性能・高密度 SoC |
| 関連製品 | カンチレバー型プローブカード |
| 主要用途 | 狭ピッチ・大電流のウェーハテスト |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | FormFactorApollo™ MF100 | 日本マイクロニクスU-Probe | TechnoprobeTPEG™ MEMS | Onto InnovationPrecisionWoRx® VX4 |
|---|---|---|---|---|
| プローブ方式 | MEMS 垂直プローブ | MEMS マイクロカンチレバー | 垂直 MEMS プローブ | — |
| 対象デバイス | GPU・ゲーム機 MPU・車載マイコン・AP | メモリ（12 インチ一括・約 2,500 DUT） | 高性能・高密度 SoC | — |
| 関連製品 | SmartMatrix（DRAM・HBM の 300mm 全面一括） | MEMS-SP／MEMS-V | カンチレバー型プローブカード | — |
| 主要用途 | ロジックのウェーハテスト | メモリのウェーハテスト | 狭ピッチ・大電流のウェーハテスト | — |
1機種だけが掲載している項目（3件）
| 対象 | — | — | — | プローブカード（狭ピッチ・小さなプローブ先端） |
|---|---|---|---|---|
| 試験項目 | — | — | — | リーク・平面度・アライメント・接触抵抗・プローブ荷重など |
| 特徴 | — | — | — | 30 以上の画像パラメータを制御する独自の画像処理 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •高性能 SoC のウェーハテスト
掲載カテゴリ
TPEG MEMSは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
Technoprobe
イタリア発のプローブカード専業メーカー。MEMS技術による微細ピッチ対応プローブカードを主力とし、先端ロジック・HBMのウェハテスト向けに世界上位のシェアを持つ。
プローブカードのほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07