プローブカードメーカー5社
プローブカードは、ウェハテストでテスタとチップのパッドを電気的につなぐ治具です。数百〜数万本の針を、数十μmのパッドへ同時に、規定の針圧で接触させる必要があります。カンチレバー型、垂直型、そしてMEMS技術で作るMEMSプローブカードがあり、パッド数の増加と多数個同時測定の要求に応じて後者へ移行してきました。針先に付着した酸化膜やアルミ屑は接触抵抗を上げるため定期的なクリーニングが要り、その頻度と針の寿命がテストコストに直結します。
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主要特徴
ウェハテストでテスタとチップパッドを電気的につなぐ治具
数百〜数万本の針を数十μmのパッドへ同時接触させる
カンチレバー型・垂直型・MEMS型があり後者へ移行が進む
針先クリーニング頻度と針寿命がテストコストに直結する
メーカー
5社の主要メーカー
FormFactor米国
プローブカード・ウェハプローバの世界的リーダー。先端ロジック・DRAM・3D-IC向け超高精度電気テストインターフェースを提供。
プローブカード
MEMSプローブカードカンチレバープローブ
ウェハプローバ
プローバシステム
- •プローブカードでグローバルトップシェア
- •先端ノード（2nm以下）対応の超精密プロービング
Technoprobeイタリア
イタリア発のプローブカード専業メーカー。MEMS技術による微細ピッチ対応プローブカードを主力とし、先端ロジック・HBMのウェハテスト向けに世界上位のシェアを持つ。
プローブカード
MEMSプローブカード垂直型プローブカード
- •MEMSプローブカードで世界上位シェア
- •微細ピッチ・多ピン化への対応力
日本マイクロニクス日本
半導体テスト用プローブカードの国内大手メーカー。ウェハ検査用プローブカード・LCD/FPD検査装置を中心に、電気的接続・検査技術を幅広く展開する。
テスト・検査装置
プローブカードLCD/FPD検査装置
- •プローブカードで国内トップクラスのシェア
- •半導体・FPD両分野の検査技術に強み
日本電子材料（JEM）日本
プローブカードの専業メーカー。カンチレバー型から垂直型、MEMS型まで各種プローブカードを供給し、ロジック・メモリ・パワーデバイスのウェハテストに用いられる。
プローブカード
垂直型プローブカードカンチレバー型プローブカードMEMSプローブカード
- •カンチレバー型からMEMS型まで幅広いプローブカード
- •多ピン・狭ピッチ化への対応
京セラ日本
ファインセラミックス技術を核とする国内大手メーカー。半導体パッケージ基板・水晶デバイス・電子部品を幅広く展開し、半導体実装の基盤材料を供給する。
パッケージ・電子部品
セラミックパッケージ基板水晶デバイス
- •セラミックパッケージ基板で世界トップクラス
- •水晶デバイス・電子部品にも強み
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