PrecisionWoRx VX4とは
PrecisionWoRx VX4 は、Onto Innovation のプローブカード検査装置です。より狭いピッチ、小さなパッド、多いピン数を持つ最新のプローブカード技術を、正確で再現性よく試験します。
テスト施設やプローブカードメーカーが、狭いピッチや小さなプローブ先端を確実に試験できるようにします。小さな先端のカードでは、高解像度の光学系で精度と再現性の高い視野を得ます。独自の画像処理レシピで 30 以上の画像パラメータを制御し、多くの先端形状を試験できます。
リーク、平面度、アライメント、接触抵抗、プローブ荷重などの一般的な試験を速く行い、所有コストを改善します。
主な特長
- •狭ピッチ・小先端に対応
- •高解像度光学系
- •30 以上の画像パラメータを制御
主な仕様
| 対象 | プローブカード（狭ピッチ・小さなプローブ先端） |
|---|---|
| 試験項目 | リーク・平面度・アライメント・接触抵抗・プローブ荷重など |
| 特徴 | 30 以上の画像パラメータを制御する独自の画像処理 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | FormFactorApollo™ MF100 | 日本マイクロニクスU-Probe | TechnoprobeTPEG™ MEMS | Onto InnovationPrecisionWoRx® VX4 |
|---|---|---|---|---|
| プローブ方式 | MEMS 垂直プローブ | MEMS マイクロカンチレバー | 垂直 MEMS プローブ | — |
| 対象デバイス | GPU・ゲーム機 MPU・車載マイコン・AP | メモリ（12 インチ一括・約 2,500 DUT） | 高性能・高密度 SoC | — |
| 関連製品 | SmartMatrix（DRAM・HBM の 300mm 全面一括） | MEMS-SP／MEMS-V | カンチレバー型プローブカード | — |
| 主要用途 | ロジックのウェーハテスト | メモリのウェーハテスト | 狭ピッチ・大電流のウェーハテスト | — |
1機種だけが掲載している項目（3件）
| 対象 | — | — | — | プローブカード（狭ピッチ・小さなプローブ先端） |
|---|---|---|---|---|
| 試験項目 | — | — | — | リーク・平面度・アライメント・接触抵抗・プローブ荷重など |
| 特徴 | — | — | — | 30 以上の画像パラメータを制御する独自の画像処理 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •プローブカードの受け入れ・保守試験
掲載カテゴリ
PrecisionWoRx VX4は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
Onto Innovation
Rudolph Technologies と Nanometrics の統合で誕生した検査・計測メーカー。光学検査、膜厚計測、先端パッケージング計測に強み。
プローブカードのほかの製品
Onto Innovationのほかの製品
Dragonfly® G3（ウェハ検査装置）NSX® 330（マクロ検査装置）Iris™ G2（膜厚計測装置）Atlas® V（光学式寸法測定装置（OCD））PrimaScan™（異物・パーティクル検査装置）PrimaScan™ P（ウェハレベルパッケージング）IVS 380（オーバーレイ計測装置）IVS 280（オーバーレイ計測装置）Celero™ PL（結晶欠陥検査装置）F30™（マクロ検査装置）Atlas® G6（光学式寸法測定装置（OCD））Atlas® III+（光学式寸法測定装置（OCD））JetStep® X500（i線ステッパー）JetStep® S3500（i線ステッパー）IMPULSE®+（膜厚計測装置）IMPULSE® V（膜厚計測装置）Echo™（膜厚計測装置）NovusEdge® G2（ウェハ基板検査装置）FAaST® CV/IV（膜組成分析装置（XRF/FTIR））FAaST® Digital SPV（異物・汚染分析装置）CnCV®（化合物半導体）Element™ S（膜組成分析装置（XRF/FTIR））Element™ G2（膜組成分析装置（XRF/FTIR））Aspect®（光学式寸法測定装置（OCD））Aspect® S（光学式寸法測定装置（OCD））Iris™ S（膜厚計測装置）Dragonfly® G5（ウェハレベルパッケージング）Firefly® G5（ウェハレベルパッケージング）EB40™（マクロ検査装置）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07