テスト用治具・コンタクト部品メーカー8Test Tooling and Contact Parts

テスト用治具・コンタクト部品は、テスタとデバイスの間に入って電気的な接触を作る部品群です。ウェハ状態ではプローブカードの針がパッドに、パッケージ後はICソケットのコンタクトが端子に触れ、そこを通った信号だけがテスタに届きます。接触抵抗のばらつきは測定誤差として、針やコンタクトの摩耗は再現性の低下として現れるため、テスト品質はこの部品の状態に強く依存します。数万〜数十万回の接触に耐える寿命がテストコストを直接左右し、多点同時測定の進展とともに製造難度が上がり続けている領域です。

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重要ポイント

テスタとデバイスの間で電気的接触を作る消耗部品群
接触抵抗のばらつきがそのまま測定誤差になる
接触寿命がテストコストを直接左右する
多点同時測定の進展で高密度化・高精度化が進む

メーカー

8社の主要メーカー

FormFactor米国

プローブカード・ウェハプローバの世界的リーダー。先端ロジック・DRAM・3D-IC向け超高精度電気テストインターフェースを提供。

  • プローブカードでグローバルトップシェア
  • 先端ノード(2nm以下)対応の超精密プロービング
  • DRAM・HBM・3D-IC向け特化製品ラインナップ
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Technoprobeイタリア

イタリア発のプローブカード専業メーカー。MEMS技術による微細ピッチ対応プローブカードを主力とし、先端ロジック・HBMのウェハテスト向けに世界上位のシェアを持つ。

  • MEMSプローブカードで世界上位シェア
  • 微細ピッチ・多ピン化への対応力
  • 先端ロジック・HBM向けの実績
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日本マイクロニクス日本

半導体テスト用プローブカードの国内大手メーカー。ウェハ検査用プローブカード・LCD/FPD検査装置を中心に、電気的接続・検査技術を幅広く展開する。

  • プローブカードで国内トップクラスのシェア
  • 半導体・FPD両分野の検査技術に強み
  • 微細ピッチ対応プローブ技術を保有
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日本電子材料(JEM)日本

プローブカードの専業メーカー。カンチレバー型から垂直型、MEMS型まで各種プローブカードを供給し、ロジック・メモリ・パワーデバイスのウェハテストに用いられる。

  • カンチレバー型からMEMS型まで幅広いプローブカード
  • 多ピン・狭ピッチ化への対応
  • デバイス別にカスタム設計する体制
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ISC(アイエスシー)韓国

韓国のテストソケット専業メーカー。導電粒子を分散させたシリコンラバー方式のソケットを主力とし、高周波特性と微細ピッチ対応を強みにメモリ・SoCの最終テスト向けに供給する。

  • シリコンラバーソケットの独自技術
  • 高周波特性と微細ピッチへの対応
  • 韓国メモリメーカーへの供給実績
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LEENO Industrial(リノ工業)韓国

韓国の精密接触部品メーカー。ポゴピン(スプリングコンタクトプローブ)とテストソケットを主力とし、半導体テストのほか電子部品検査向けにも接触子を供給する。

  • ポゴピンの精密加工技術
  • テストソケットとの一体設計
  • 半導体から電子部品検査まで幅広い接触子
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Cohu米国

半導体テストハンドラ・テストソケット・テスト用サーマルシステムの主要メーカー。Xcerra買収後にテストエコシステムをワンストップ提供。

  • ICテストハンドラのグローバル主要サプライヤー
  • テストソケット・コンタクタの広範なポートフォリオ
  • サーマル制御システムによる高精度テスト環境の実現
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TOWA日本

半導体パッケージのモールド(樹脂封止)装置で世界トップシェア。圧縮成形・トランスファ成形やシンギュレーション装置を手掛け、FOWLPなど先進パッケージにも対応する。

  • モールド封止装置で世界トップシェア
  • 圧縮成形(コンプレッション)技術に強み
  • パネル/ウェハレベルの先進パッケージ対応
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