U-Probeとは
U-Probe は、日本マイクロニクスのメモリ向けプローブカードです。独自の MEMS 技術で開発したマイクロカンチレバー型の MEMS プローブと、薄膜多層配線基板の製造技術を組み合わせています。
12 インチウェーハの DRAM とフラッシュメモリのダイを、多数同時にテストするために設計されています。1 枚のカードで約 2,500 個の DUT に対応し、約 20 万本のピンを搭載しています。12 インチウェーハを 1 回のタッチダウンで試験できます。
テスタのリソースを最大限に生かす効率的なデバイス配列と、歩留まりを高める最適な接続性を持ちます。プリント基板を使わず、MEMS プローブ付きの薄膜多層基板を直接テスタにドッキングする軽量・低コストの PCB レス版もあります。
主な特長
- •MEMS マイクロカンチレバープローブ
- •約 2,500 DUT・約 20 万ピン
- •12 インチウェーハを 1 タッチダウンで試験
- •PCB レス版（軽量・低コスト）
主な仕様
| プローブ方式 | MEMS マイクロカンチレバー |
|---|---|
| 対象デバイス | メモリ（12 インチ一括・約 2,500 DUT） |
| 関連製品 | MEMS-SP／MEMS-V |
| 主要用途 | メモリのウェーハテスト |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | FormFactorApollo™ MF100 | 日本マイクロニクスU-Probe | TechnoprobeTPEG™ MEMS |
|---|---|---|---|
| プローブ方式 | MEMS 垂直プローブ | MEMS マイクロカンチレバー | 垂直 MEMS プローブ |
| 対象デバイス | GPU・ゲーム機 MPU・車載マイコン・AP | メモリ（12 インチ一括・約 2,500 DUT） | 高性能・高密度 SoC |
| 関連製品 | SmartMatrix（DRAM・HBM の 300mm 全面一括） | MEMS-SP／MEMS-V | カンチレバー型プローブカード |
| 主要用途 | ロジックのウェーハテスト | メモリのウェーハテスト | 狭ピッチ・大電流のウェーハテスト |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •DRAM・フラッシュメモリのウェーハテスト
掲載カテゴリ
U-Probeは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
日本マイクロニクス
半導体テスト用プローブカードの国内大手メーカー。ウェハ検査用プローブカード・LCD/FPD検査装置を中心に、電気的接続・検査技術を幅広く展開する。
プローブカードのほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06