Verdict結論
石英零件與陶瓷零件的差異，可歸結為「透明的非晶質玻璃，還是燒結的多晶體」這項材料結構差異。石英熱膨脹極小、容易高純度化，適合擴散爐的爐管、晶舟與觀察窗。陶瓷（氧化鋁、AlN、SiC）熱傳導率高、機械強度與耐電漿性優異，用於靜電吸盤、加熱器、聚焦環等需要傳熱並承受電漿的部位。
主要差異
| 比較項目 | 石英零件（石英玻璃） | 陶瓷零件（氧化鋁、AlN、SiC） |
|---|---|---|
| 材料結構 | 非晶質（amorphous）玻璃，透明 | 燒結的多晶體，不透明 |
| 耐熱溫度參考 | 1,200℃左右（長時間使用會逐漸失透） | 氧化鋁可達1,500℃等級，SiC可耐更高溫 |
| 熱膨脹、熱衝擊 | 熱膨脹係數極小，非常耐急熱急冷 | 熱膨脹大於石英，但視材質而定仍屬良好 |
| 熱傳導率 | 低（具隔熱性） | 高（AlN 150～180W/m·K，SiC也很高） |
| 耐電漿性 | 在氟系電漿中會逐漸被蝕刻 | 搭配Y₂O₃鍍膜容易確保高耐受性 |
| 純度、污染 | 合成石英可達ppb等級的低金屬污染 | 有高純度等級，燒結助劑的管理是關鍵 |
| 代表用途 | 擴散爐爐管、晶舟、觀察窗、石英環、清洗槽 | 靜電吸盤、陶瓷加熱器、晶座、聚焦環 |
| 主要廠商 | 信越石英、東曹（Tosoh）、HOYA | 日本礙子（NGK）、京瓷（Kyocera）、TOTO、CoorsTek |
選用的基本原則：「阻隔」熱還是「傳導」熱
石英具有熱傳導率低、幾乎不熱膨脹的特性。這對爐管這類需要內部維持高溫、又不能因劇烈溫度變化而破裂的構件來說相當理想。另一方面，需要均勻加熱晶圓的部位必須快速傳熱，因此會選用AlN這類高導熱陶瓷。靜電吸盤之所以用陶瓷而非石英製作，是因為它不只負責吸附，還要負責散熱。
消耗方式不同：失透與侵蝕
石英在高溫下長時間使用，表面會失透（方矽石化）而變得白濁，剝落的碎片會成為微粒來源。陶瓷的主要劣化模式則是電漿造成的侵蝕（erosion），粒子從晶界脫落而產生微粒。兩者都屬於需更換、再生的耗材，但觀察劣化徵兆的方式與壽命判斷基準各不相同。
第三種選擇：耐電漿鍍膜
近年來，比起基材是石英還是陶瓷，表面施加何種塗層更能左右零件壽命。氧化釔（Y₂O₃）系或YOF系的耐電漿鍍膜，可將氟系電漿環境中的侵蝕速率降低數個數量級，也能抑制微粒產生。基材依強度、熱特性與加工性選擇，耐電漿性則以表面處理來實現，這樣的設計已成為主流。
常見問題
石英與陶瓷哪一種比較耐用？
取決於使用位置。在高溫但氣氛溫和的擴散爐中，石英可長期使用；但在暴露於氟系電漿的部位，石英容易被蝕刻，施加耐電漿鍍膜的陶瓷較有利。由於劣化模式不同，無法單純比較優劣。
為何靜電吸盤使用AlN（氮化鋁）？
理由有2點：其熱傳導率高達150～180W/m·K，能有效排除晶圓熱量；以及透過控制體積電阻率，可獲得Johnsen-Rahbek型的強大吸附力。加熱、吸附與散熱可由1個構件同時負責，使設備結構更為簡潔。
石英零件失透（白濁）後繼續使用沒問題嗎？
有問題。失透的表面會因結晶化而產生體積變化、容易剝落，剝落的碎片會成為微粒來源並造成晶圓缺陷。白濁被視為壽命指標，是判斷定期更換或以研磨、蝕刻進行再生的基準。