腔體內襯（沉積防護罩）是覆蓋製程腔體內壁、保護本體免受沉積物與電漿損傷的內襯零件。反應生成物也會附著在腔體壁上，內襯的功能就是防止本體鋁材直接受到污染與腐蝕，並讓沉積物可隨內襯一起拆下清洗或更換。
材質使用在鋁母材上熔射氧化釔（Y₂O₃）或氧化鋁者，以及石英、SiC、陶瓷燒結體等。要求的特性為耐電漿性（不易被濺射）、低微粒與熱膨脹匹配；尤其在暴露於氟系電漿的蝕刻腔體中，氧化釔系塗層的品質決定零件壽命與微粒表現。
內襯表面的沉積物一旦剝落就會成為微粒，因此一般刻意將表面粗化（噴砂處理）以提高膜的附著性、使其不易剝落。必須在沉積達到極限前進行更換或清洗，此更換週期本身就是腔體的PM（預防保養）週期。
內襯有時也會進行溫度控制。藉由將壁溫保持一定，使反應生成物的再附著行為穩定，以抑制製程的起始效應（第一片晶圓效應）。腔壁狀態影響製程結果的現象稱為「腔體狀態（chamber condition）」，以陳化（seasoning，用假片進行的暖機運轉）來管理。
使用過的內襯一般經過精密清洗、剝膜、重新塗層後再生。以TOCALO為首的熔射與表面處理業者及零件清洗業者形成了再生市場，在晶圓廠耗材成本與廢棄物減量兩方面都占有重要地位。