MTBF 是從一次故障到下一次故障的平均時間（Mean Time Between Failures），MTTR 是從故障到復原的平均時間（Mean Time To Repair）。這是表示半導體製造設備可靠度的 2 項基本指標，會作為數值目標寫入設備的採購規格書與維護合約。MTBF 越長代表越不容易故障，MTTR 越短代表越能迅速復機。
這 2 項指標直接影響設備的稼動率。稼動率大致可以 MTBF÷（MTBF＋MTTR）表示，因此不只是不易故障，故障時零件能否立即送達、現場技術人員是否熟悉程序，也有同等份量的影響。設備廠商將服務據點與零件倉庫設在客戶工廠附近，就是為了縮短 MTTR。
實務上，數值會隨著把哪些情況算作故障的定義而改變。設備自動停機、警報造成的暫停、配方（recipe）異常等要如何處理，若客戶與設備廠商未事先達成共識，同一台設備回報的數值也會出現落差。SEMI 規格中定義了稼動率的計算方法，就是為了避免這種落差。