OEE(Overall Equipment Effectiveness,設備總合效率)是以1個比例表示製造設備原有能力中,實際有多少用於生產良品的指標。能一併評估設備停機時間、慢速運轉時間、生產不良品時間這3種損失,因此被當作改善工廠生產力的出發點。
OEE 以「時間稼動率×性能稼動率×良品率」相乘求出。時間稼動率是預定運轉時間中實際運轉時間的比例,會因故障、換線、保養停機而減少。性能稼動率是運轉時間內以原有速度能生產多少的比例,會因短暫停機與速度下降而降低。良品率是生產的產品中良品的比例。例如三者分別為90%、95%、99%,OEE 約為85%。
在半導體工廠中,把設備狀態分為「生產中」「待機」「工程作業」「計畫停機」「非計畫停機」等的概念由 SEMI 規格(SEMI E10)訂定,OEE 的概念則由 SEMI E79 訂定。像曝光機這種1台非常昂貴的設備,OEE 些微的改善就能大幅節省投資。以 SECS/GEM 或 MES 收集設備資料,分析停機原因,或以預知保養減少非計畫停機來改善。