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最後更新:2026年10月22日晶圓廠・廠務設施晶圓廠廠務設施(廢氣處理・超純水・化學品供應)中國大陸:设备综合效率(OEE)

OEE是什麼(設備總合效率)

Overall Equipment Effectiveness (OEE)

OEE(設備總合效率)是表示製造設備原有能力中,實際有多少用於生產良品的指標,以「時間稼動率×性能稼動率×良品率」求出。能一併評估停機時間、慢速運轉時間、生產不良品時間這3種損失。在半導體中,SEMI 規格也訂有其概念。

目錄7 項
  1. 定義與原理
  2. 圖解
  3. 常見問題
  4. 相關企業
  5. 相關用語
  6. 比較文章
  7. 資料來源

定義與原理

OEE(Overall Equipment Effectiveness,設備總合效率)是以1個比例表示製造設備原有能力中,實際有多少用於生產良品的指標。能一併評估設備停機時間、慢速運轉時間、生產不良品時間這3種損失,因此被當作改善工廠生產力的出發點。

OEE 以「時間稼動率×性能稼動率×良品率」相乘求出。時間稼動率是預定運轉時間中實際運轉時間的比例,會因故障、換線、保養停機而減少。性能稼動率是運轉時間內以原有速度能生產多少的比例,會因短暫停機與速度下降而降低。良品率是生產的產品中良品的比例。例如三者分別為90%、95%、99%,OEE 約為85%。

在半導體工廠中,把設備狀態分為「生產中」「待機」「工程作業」「計畫停機」「非計畫停機」等的概念由 SEMI 規格(SEMI E10)訂定,OEE 的概念則由 SEMI E79 訂定。像曝光機這種1台非常昂貴的設備,OEE 些微的改善就能大幅節省投資。以 SECS/GEM 或 MES 收集設備資料,分析停機原因,或以預知保養減少非計畫停機來改善。

圖解

把時間稼動率、性能稼動率、良品率相乘求出 OEE 的流程與計算例

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半導體設備的狀態分類由 SEMI E10 訂定,OEE 的概念由 SEMI E79 訂定。

OEE(設備總合效率)的常見問題

OEE 和稼動率有什麼不同?
稼動率主要表示設備運轉時間的比例。OEE 則再乘上運轉期間是否以原有速度生產(性能稼動率)、生產的是否為良品(良品率)。即使稼動率高,若速度下降或不良多,OEE 也會偏低。
OEE 多少才算好?
依產業與設備差異很大,作為製造業一般參考,有時把85%左右視為高水準。半導體工廠會因製程流程與產品組合使設備待機時間較多,因此比起絕對數值,更重要的是看損失內容決定改善對象。

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相關企業

比較文章

所屬主題

資料來源

  1. SEMI:SEMI E79 - Specification for Definition and Measurement of Equipment Productivity(2026年10月19日確認)