稼動率是指設備在總時間中，實際為生產等目的而運轉的時間比例。在半導體工廠中，它是表示製造設備被有效利用程度的基本指標，左右昂貴設備的投資效益。英文依上下文可譯為Utilization（利用率）、Availability（可用率）、Uptime（運轉時間）、Operating Rate等，由於分母與分子取什麼會改變其意義，統一定義後再使用相當重要。日本製造業有時也會區分「稼動率」（設備實際運轉的比例）與「可動率」（需要運轉時能正常運轉的比例）。
半導體設備的時間分類廣泛採用SEMI E10標準。它將總時間分為：實際處理產品的生產時間（Productive）、處於可運轉狀態但等待工作的待機時間（Standby）、用於製程開發或條件調整的工程時間（Engineering）、計畫性保養時間（計畫停機）、因故障等造成的非計畫停機時間，以及原本就未排定運轉的時間。其中，設備處於可運轉狀態的時間比例稱為可用率（uptime），而其中實際處理產品的時間比例稱為利用率，兩者分開看待，並依停機原因分別擬定改善對策。
與稼動率並列常用的是OEE（整體設備效率：Overall Equipment Efficiency），以可用率×性能（實際處理速度相對於原本速度）×品質（良率）求得。其觀念是：即使設備沒有停機，只要處理速度下降或產生不良品，實質產能就已經損失。半導體工廠會透過掌握故障徵兆以減少非計畫停機的預知保養、縮短保養步驟，以及最佳化搬送與投料以減少等待時間，來提高稼動率。可使用Semirai的OEE計算工具，由可用率、性能、品質試算整體效率。