設備管理系統（EES）是什麼
設備管理系統（EES）是根據從製造設備收集的感測器資料，監控設備狀態並及早偵測異常的軟體。持續擷取腔體壓力、RF 反射波、氣體流量等時間序列資料，偵測偏離正常模式之行為的 FDC（Fault Detection and Classification）是其核心功能。此外，它也已發展為預測零件耗損並建議更換時機的預知保養，以及自動微調配方的 APC，成為在不停機的情況下維持品質的基礎。
重點整理
持續收集設備感測器資料，及早偵測異常
FDC（異常偵測・分類）為核心功能
發展為預測零件耗損並建議更換時機的預知保養
搭配 APC 自動微調配方以維持品質
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