MTBFとは故障から次の故障までの平均時間（Mean Time Between Failures）、MTTRとは故障してから復旧するまでの平均時間（Mean Time To Repair）です。半導体製造装置の信頼性を表す基本の2指標で、装置の購入仕様書や保守契約に数値目標として書き込まれます。MTBFが長いほど壊れにくく、MTTRが短いほど早く戻せる装置ということになります。
この2つは装置の稼働率に直結します。稼働率はおおむねMTBF÷（MTBF＋MTTR）で表せるため、壊れにくさだけでなく、壊れたときに部品がすぐ届くか、現場の技術者が手順を知っているかが同じ重みで効きます。装置メーカーがサービス拠点や部品倉庫を顧客の工場の近くに置くのは、MTTRを短くするためです。
実務では、どこまでを故障として数えるかの定義で数値が変わります。装置の自動停止、アラームによる一時停止、レシピの異常などをどう扱うかを顧客と装置メーカーで合意しておかないと、同じ装置でも報告される数値が食い違います。SEMIの規格に稼働率の計算方法が定義されているのは、この食い違いを避けるためです。