設備・材料企業職涯

智慧晶圓廠・製造管理

涵蓋製造執行系統（MES）、自動化物料搬運、先進製程控制（APC）、良率管理與資料分析等。透過蒐集並分析設備與製程資料來提升產能與良率，是晶圓廠運轉效率的關鍵。

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比較文章（1 篇）

用語解說（20 個）

  • APC（先進製程控制）
    APC（先進製程控制）是在半導體產線中將量測資料即時回饋・前饋，自動修正各步驟設備參數，藉以將製程變異降到最低並提升良率的控制系統總稱。
  • 虛擬量測
    虛擬量測是取代線上實際物理量測，從設備的製程資料以機器學習模型預測品質參數的技術，可大幅降低量測時間與成本。
  • 良率管理
    良率管理是在半導體製造中以提升良率為目的，整合收集並分析缺陷資料、製程資料與測試資料，找出並排除良率損失原因的組織性管理流程。
  • 統計製程管制（SPC）
    統計製程管制（SPC）是以統計手法即時分析製造步驟資料，持續監控步驟是否處於管制狀態的品質管理技術，是構成 APC 根基的技術。
  • 機器學習
    機器學習是人工智慧（AI）的一個分支，指不需撰寫明確的程式，而是從資料中自動學習模式與規律，以執行預測、分類、生成等任務之方法的總稱。
  • 預測性維護
    預測性維護是以機器學習模型分析製造設備的感測器資料、運轉紀錄、振動、溫度、電流等即時資料，在故障發生前於最佳時機進行保養與零件更換的製造管理手法。
  • 製程控制
    製程控制是為維持並提升半導體製造各步驟的品質、精度與穩定性，將量測資料即時或在晶圓間・批次間進行回饋・前饋的控制系統及技術總稱。
  • Q-Time（等候時間）
    Q-Time（等候時間）是指某道製程結束到下一道製程開始之間的等待時間，特別是指其上限。清洗後再氧化、CMP 後銅腐蝕等，晶圓表面在等待期間也會變化，因此必須在容許時間內投入下一道…
  • 製造執行系統（MES）
    製造執行系統（MES）是整合管理半導體晶圓製造產線之生產計畫、製程管理、品質追溯、設備管理與作業指示的軟體系統。
  • 晶圓圖（Wafer Map）
    晶圓圖是將晶圓上各晶粒的位置與其測試結果（合格與否或 bin）、檢測結果對應記錄的資料，或將其以格狀色彩區分顯示的圖。在後段製程中作為自動挑出良品晶粒的指示，在良率分析中則可從外圍…
  • SEDD（SEMI E172）
    SEDD（SECS Equipment Data Dictionary，SEMI E172）是以 XML 格式描述製造設備在 SECS/GEM 通訊中使用的狀態變數・設備常數・事件…
  • 產能（Throughput）
    Throughput（產能）是指一定時間內能處理的量，在半導體製造中以設備每 1 小時能處理的晶圓片數（WPH）表示，後段製程則使用晶片顆數（UPH）。除處理時間外，還取決於傳送與…
  • UPH（每小時產出數）
    UPH（Units Per Hour）是表示設備每 1 小時能處理產品顆數的指標。相對於以晶圓片數（WPH）表示的前段製程，用於黏晶機、測試分類機等處理單顆晶片的後段製程設備。在測…
  • TAT（生產週期）
    TAT（Turn Around Time）是從委託・投入作業到完成並取得結果為止的時間。在半導體領域多指晶圓投入生產線到完成的生產週期，先進邏輯約需 3～4 個月。其中大半是等待設…
  • WIP（在製品）
    WIP（在製品）是已投入生產線但尚未完成的產品，在半導體廠中指處於製程途中的晶圓總量。與產能・生產週期之間有「WIP＝產能×生產週期」的關係，WIP 過多會拉長等待時間，過少則使昂…
  • 量產爬坡（Ramp-up）
    Ramp-up（量產爬坡）是將新產品或新工廠的產量，從導入階段逐步提高到正式量產水準。半導體廠要經過設備搬入與連接、建立製程條件、客戶認證、風險試產後進入量產，再將投片量增加到設計…
  • 稼動率（設備稼動率）
    稼動率是指設備在總時間中實際用於生產而運轉的時間比例，在半導體工廠中是左右昂貴設備投資效益的指標。英文依定義不同而有Utilization、Availability等不同譯法。設備…
  • 學習曲線（Learning Curve）
    學習曲線是指產品的累積產量越多、經驗越是累積，每1個的成本或作業時間便以一定比例下降的關係。半導體因良率改善，是這種效果特別顯著的產業，它說明了為何及早量產並累積產量的企業能在成本…
  • SECS/GEM（HSMS）
    SECS/GEM是用於半導體製造設備與工廠主機（MES等）之間交換資料與指令的SEMI通訊標準群。由規定通訊方式的SECS-I與HSMS（TCP/IP）、規定訊息格式的SECS-I…
  • 塔燈（多層式訊號燈）
    塔燈（多層式訊號燈）是安裝在製造設備上，以紅、黃、綠等燈號向周圍告知運轉狀態的指示燈。又稱燈塔、PATLITE，一般紅色代表異常停機，黃色代表警告或等待處理，綠色代表正常運轉。也可…

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最後更新：2026年10月8日