預防保養（PM：Preventive Maintenance）是在設備故障之前，依既定週期進行零件更換或清潔的保養方式。半導體製造設備會以處理的晶圓片數或運轉時間為基準，訂定「處理多少片後開腔清潔」「幾小時後更換這個零件」之類的計畫，現場便以「PM」指稱這項作業本身。
與故障後才修理的事後保養相比，其優點是可以自行選擇停機時機。預定的停機可納入生產計畫，但突發故障會波及在製中的晶圓，復機時間也難以預估。另一方面，週期設得太短，就會丟掉仍可使用的零件，讓設備白白停機。週期要劃在哪裡，是設備工程師需要判斷的地方。
更進一步的做法，是從設備資料判讀劣化、決定時機的預測性維護。預防保養是「依週期決定」，預測性維護則是「依狀態決定」，這是兩者的差異。PM 後加工結果容易改變，通常會先進行腔體預處理（seasoning）或以假片確認，再回到生產。