腔體預處理（Seasoning）是指在處理產品晶圓之前，先使用擋片等讓蝕刻設備或CVD設備的腔體（反應腔）運轉數次，使腔體內壁狀態穩定的作業。英文原意是料理的「調味」，或是鐵鍋使用前抹油「養鍋」的意思，也稱為調理（conditioning）。
之所以需要腔體預處理，是因為腔體內壁的狀態會大幅影響製程結果。在使用電漿的設備中，附著在內壁的膜會吸附或釋放自由基，或是內壁釋出成分，使電漿中的成分平衡改變。剛清潔腔體或更換零組件後，內壁處於裸露狀態，因此只有最初幾片產品的蝕刻速率或膜厚會偏離目標，即所謂的「首片效應」。若事先以腔體預處理讓內壁覆蓋與產品處理時相同的膜，從第1片起就能得到穩定的結果。
腔體預處理除了在定期濕式清潔（打開腔體清潔、更換零組件的保養）後或設備長時間停機後進行之外，在CVD設備中，也可能在以三氟化氮（NF₃）等電漿去除內壁堆積物的臨場（in-situ）清潔後，每次都加入讓腔體附著特定膜的預處理步驟。另一方面，腔體預處理期間無法處理產品，還會消耗擋片與材料，因此會成為降低設備稼動率的因素。如何減少預處理的時間與次數，是改善腔體零組件材料、塗層與清潔方法的目標之一。