FOX-XP 是 Aehr Test Systems 的多晶圓級預燒・測試系統。在封裝前的晶圓狀態下,同時對大量晶片施加電性・熱應力,剔除早期失效。
使用 WaferPak 接觸器測試晶圓或面板時最多支援 18 片刀鋒板(插槽),以 DiePak 載具測試晶圓、單顆晶粒、模組時最多支援 9 片刀鋒板。可進行每片晶圓最大 3,500W 的高功率測試。
每片刀鋒板具備最多 2,048 個通用通道(I/O・時脈・PPMU・DPS),以及最多 1,024 個高電壓(至 29V)・大電流(至 2A)資源。具備各通道的過電流・過電壓保護,可在至 300mm 的晶圓上進行 HTOL、HTRB、HTGB 可靠度試驗。針對矽光子、行動裝置、車用、記憶體・邏輯市場,另有 WaferPak 自動對位器選配。