最後更新:2026年10月23日預燒系統

FOX-XP的特點與規格

Aehr Test Systems・預燒系統

同時對多片晶圓進行測試・預燒的量產系統。以獨家的晶圓全面接觸器 WaferPak,對每片晶圓提供大功率與溫度控制。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

FOX-XP 是 Aehr Test Systems 的多晶圓級預燒・測試系統。在封裝前的晶圓狀態下,同時對大量晶片施加電性・熱應力,剔除早期失效。

使用 WaferPak 接觸器測試晶圓或面板時最多支援 18 片刀鋒板(插槽),以 DiePak 載具測試晶圓、單顆晶粒、模組時最多支援 9 片刀鋒板。可進行每片晶圓最大 3,500W 的高功率測試。

每片刀鋒板具備最多 2,048 個通用通道(I/O・時脈・PPMU・DPS),以及最多 1,024 個高電壓(至 29V)・大電流(至 2A)資源。具備各通道的過電流・過電壓保護,可在至 300mm 的晶圓上進行 HTOL、HTRB、HTGB 可靠度試驗。針對矽光子、行動裝置、車用、記憶體・邏輯市場,另有 WaferPak 自動對位器選配。

主要規格

方式晶圓級預燒(WaferPak 全面接觸器)
處理單位最多 18 片刀鋒板(晶圓・面板,至 300 mm)
功率每片晶圓最大 3,500 W
主要用途HTOL・HTRB・HTGB 可靠度試驗(矽光子・車用・記憶體/邏輯)

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

最多 18 片刀鋒板的晶圓/面板同時測試
每片晶圓最大 3,500W
每片刀鋒板 2,048 通用通道+1,024 高電壓・大電流
支援 HTOL・HTRB・HTGB

主要用途

  • 晶圓級預燒(剔除早期失效)
  • 矽光子・車用・記憶體/邏輯

製造商

Aehr Test Systems(總部:美國)

所屬設備分類

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資料來源

  1. Aehr Test Systems 官方產品頁面:Aehr Test Systems