預燒系統是什麼

預燒系統是一種篩選設備,對元件施加高溫及超過額定值的電壓與訊號一段時間,讓處於浴缸曲線早期失效期的個體在出貨前被強制失效並剔除。將大量元件裝載於預燒板上,在恆溫槽內一次處理,方式包括讓元件邊運作邊試驗的動態預燒,以及兼具測試功能的監控式預燒(TDBI)等。在需要確保 KGD(Known Good Die)的小晶片與 HBM 中,晶圓級預燒的重要性日益提高。

重點整理

以高溫、高電壓應力讓早期失效品在出貨前強制顯現
在預燒板上裝載大量元件,於恆溫槽內一次處理
有邊運作邊試驗的動態方式與 TDBI 方式
為確保小晶片/HBM 的 KGD,晶圓級預燒持續擴大

常見問題

預燒與 HTOL 有何不同?
預燒是為了在出貨前剔除早期失效品的篩選,目的是挑選良品。HTOL(高溫操作壽命試驗)同樣施加高溫與電壓應力,但目的是推估壽命與故障率,對抽樣的批次長時間實施。
為什麼需要晶圓級預燒?
在小晶片或 HBM 這類堆疊多顆晶粒的封裝中,1 顆不良晶粒就會讓整個成品變成不良。若在封裝後才篩選,損失很大,因此會在晶圓或晶粒階段完成預燒,確保為良品(KGD)後再進行堆疊。

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