最後更新:2026年10月23日氣體供應設備・大宗氣體設施

FabStream/ALIM 2 氣瓶櫃的特點與規格

法國液化空氣(Air Liquide)・氣體供應設備・大宗氣體設施

從大宗容器以高流量・高純度自動供應氣體的 FabStream,與從鋼瓶安全供應毒性・可燃性氣體的 ALIM 2。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

FabStream 是法國液化空氣(Air Liquide)的模組式氣體供應系統產品線,依據該公司 40 年的經驗開發而成,用於需要超高純度氣體供應的電子與太陽能電池領域。

有以鋼瓶為供應源的 FabStream III 氣瓶櫃,以及處理集束鋼瓶(bundle)與拖車等大宗供應源的 FabStream BGDS。這是自動切換 2 個供應源的全自動氣瓶櫃,切換時的自動吹淨可防止汙染,維持供應氣體的純度。以專利的 AVP(All Vapor Phase)技術,可穩定進行液化氣體的大流量供應。

稼動率 FabStream III 為 99.9993%、BGDS 為 99.999%,平均修復時間皆不到 2 小時。以 PLC 控制與 12 吋觸控面板監控壓力・重量・警報,並具備氣體洩漏偵測與緊急遮斷等安全功能。ALIM 2 是針對研究用途、以 N55 等級供應特殊・危險氣體的超高純度氣體供應系統。

主要規格

供應形態大宗供應(FabStream)/鋼瓶櫃(ALIM 2)
流量低流量 ~ 超過 3,000 slpm(FabStream)
主要用途HCl・矽烷・N₂O 等特殊氣體的供應

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

鋼瓶用 FabStream III、大宗用 BGDS
供應源自動切換與自動吹淨
以 AVP 技術進行液化氣體大流量供應
稼動率 99.999% 以上,MTTR 不到 2 小時

主要用途

  • 半導體工廠的特殊氣體・大宗氣體供應
  • 研究用超高純度氣體供應(ALIM 2)

製造商

法國液化空氣(Air Liquide)(總部:法國)

所屬設備分類

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資料來源

  1. 法國液化空氣(Air Liquide)官方產品頁面:Air Liquide FabStream