FabStream 是法國液化空氣(Air Liquide)的模組式氣體供應系統產品線,依據該公司 40 年的經驗開發而成,用於需要超高純度氣體供應的電子與太陽能電池領域。
有以鋼瓶為供應源的 FabStream III 氣瓶櫃,以及處理集束鋼瓶(bundle)與拖車等大宗供應源的 FabStream BGDS。這是自動切換 2 個供應源的全自動氣瓶櫃,切換時的自動吹淨可防止汙染,維持供應氣體的純度。以專利的 AVP(All Vapor Phase)技術,可穩定進行液化氣體的大流量供應。
稼動率 FabStream III 為 99.9993%、BGDS 為 99.999%,平均修復時間皆不到 2 小時。以 PLC 控制與 12 吋觸控面板監控壓力・重量・警報,並具備氣體洩漏偵測與緊急遮斷等安全功能。ALIM 2 是針對研究用途、以 N55 等級供應特殊・危險氣體的超高純度氣體供應系統。