大陽日酸(Taiyo Nippon Sanso)的氣體供應系統,包括符合日本《高壓氣體保安法》的鋼瓶櫃,以及大量供應特殊氣體的大宗供應系統(BSGS)。
另備有包含將鋼瓶更換自動化之搬運機器人 Cdrive 的 IGSS,用於對半導體工廠供應特殊氣體。
符合日本《高壓氣體保安法》的鋼瓶櫃,與大量供應特殊氣體的大宗供應系統(BSGS),另有包含自動搬運機器人 Cdrive 的 IGSS。
大陽日酸(Taiyo Nippon Sanso)的氣體供應系統,包括符合日本《高壓氣體保安法》的鋼瓶櫃,以及大量供應特殊氣體的大宗供應系統(BSGS)。
另備有包含將鋼瓶更換自動化之搬運機器人 Cdrive 的 IGSS,用於對半導體工廠供應特殊氣體。
| 供應形態 | 鋼瓶櫃/大宗供應(BSGS) |
|---|---|
| 主要用途 | 半導體工廠的特殊氣體供應 |
規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。
大陽日酸(Taiyo Nippon Sanso)(總部:日本)