FabStream™／ALIM 2 ガスキャビネット
バルク容器から高流量・高純度でガスを自動供給する FabStream と、毒性・可燃性ガスをシリンダーから安全に供給する ALIM 2。
FabStream／ALIM 2 ガスキャビネットとは
FabStream は、Air Liquide のモジュール型ガス供給システムのラインで、40 年にわたる同社の経験をもとに開発されました。超高純度のガス供給が必要なエレクトロニクスと太陽電池の分野に使われます。
シリンダーを供給源とする FabStream III ガスキャビネットと、バンドルやトレーラーなどのバルク供給源を扱う FabStream BGDS があります。2 つの供給源を自動で切り替える全自動のキャビネットで、切り替え時の自動パージにより汚染を防ぎ、供給ガスの純度を保ちます。特許の AVP（All Vapor Phase）技術で、液化ガスの大流量供給を安定して行えます。
稼働率は FabStream III で 99.9993%、BGDS で 99.999%、平均修理時間はどちらも 2 時間未満です。PLC 制御と 12 インチのタッチパネルで圧力・重量・警報を監視し、ガス漏れ検知や緊急遮断などの安全機能を備えます。ALIM 2 は、研究用途向けに特殊・危険ガスを N55 グレードで供給する超高純度のガス供給システムです。
主な特長
- •シリンダー用 FabStream III、バルク用 BGDS
- •供給源の自動切替と自動パージ
- •AVP 技術による液化ガスの大流量供給
- •稼働率 99.999% 以上、MTTR 2 時間未満
主な仕様
| 供給形態 | バルク供給（FabStream）／シリンダーキャビネット（ALIM 2） |
|---|---|
| 流量 | 低流量 ～ 3,000 slpm 超（FabStream） |
| 主要用途 | HCl・シラン・N₂O など特殊材料ガスの供給 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | エア・リキード（Air Liquide）FabStream™／ALIM 2 ガスキャビネット | 大陽日酸（Taiyo Nippon Sanso）シリンダーキャビネット／BSGS／IGSS |
|---|---|---|
| 供給形態 | バルク供給（FabStream）／シリンダーキャビネット（ALIM 2） | シリンダーキャビネット／バルク供給（BSGS） |
| 主要用途 | HCl・シラン・N₂O など特殊材料ガスの供給 | 半導体工場の特殊材料ガス供給 |
1機種だけが掲載している項目（1件）
| 流量 | 低流量 ～ 3,000 slpm 超（FabStream） | — |
|---|
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •半導体工場の特殊ガス・バルクガス供給
- •研究用の超高純度ガス供給（ALIM 2）
掲載カテゴリ
FabStream／ALIM 2 ガスキャビネットは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
産業ガス・特殊ガスのグローバル大手メーカー。半導体製造に不可欠な高純度プロセスガス（成膜・エッチング用）とガス供給インフラを世界的に展開する。