AW 系列是安立計器（Anritsu Meter）的附熱電偶矽晶圓。為在矽晶圓上安裝熱電偶的感測器，可在半導體製造設備內實際量測晶圓面內的溫度分布。
廠商將其定位為半導體製造設備開發與製程條件設定不可或缺的工具。可自由組合晶圓尺寸、熱電偶感測點數、熱電偶絕緣被覆種類來決定規格，也可對應訂製品的製作。
代表型號 AW-0505K-A-TS1-ANP 的使用溫度範圍為 0～500°C，容許差依溫度區間為 ±2.5°C～±8.0°C。可透過線上工具組合規格決定型號。
附熱電偶矽晶圓 AW 系列的特點與規格
安立計器（Anritsu Meter）・感測晶圓（附熱電偶晶圓）
安立計器用於設備開發・製程條件設定・溫度分布量測的附熱電偶晶圓，可組合感測點數等規格製作。
產品概要
主要規格
| 量測項目 | 溫度（K 型熱電偶） |
|---|---|
| 使用溫度 | 0 ～ 500 ℃ |
| 主要用途 | 光阻設備載台等的溫度分布量測 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
附熱電偶矽晶圓
可自由組合晶圓尺寸・感測點數・被覆
代表型號為 0～500°C
亦對應訂製品
主要用途
- 製造設備內晶圓溫度分布的量測
- 設備開發・製程條件設定
製造商
安立計器（Anritsu Meter）（總部：日本）