CryoTemp的特點與規格

CryoTemp 是科磊的 300mm 原位（in situ）晶圓溫度量測系統。在實際的真空製程條件下，評估・監控乾式蝕刻製程。

設計用於靜電吸盤（ESC）溫度分布的校正、均勻性改善與匹配，加快電漿蝕刻腔體的評估與管理。具備 21 個感測器，精度 0.5℃，工作範圍 −40～30℃。

也支援自動化，可減少腔體停機時間與技術人員工時。另外，並未設想在點燃電漿的狀態下使用，但可在腔體內進行吸附・脫附（chuck／dechuck）。